PVD镀膜知识问答

1.PVD镀膜含义?

答:含义:PVD(Physical Vapor Deposition)物理气相沉积技术:表示在真空条件下,采用物理方法,将材料源-固体或液体表面气化为气体原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）沉积在基体表面.

2.PVD技术有哪些分类？

答:PVD(物理气相沉积)技术主要分为真空蒸发、溅射、离子镀(空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀)三类。

3. PVD涂层的具体原理是什么？

答：物理气相沉积是一种物理气相反应生长方法，沉积过程是在真空或低气放电条件下，涂层物质源为固体物质"蒸发或溅射"之后，在零件表面生成与基材性能完全不同的新型固体材料涂层.

4. PVD与传统化学电镀相比，镀膜有哪些优点？

答: PVD涂层与传统化学电镀的相似之处在于，两者都属于表面处理的范畴，一种材料以某种方式覆盖另一种材料的表面.

两者的区别在于：PVD涂层与工件表面的结合力较大，膜层硬度较高，耐磨性和耐腐蚀性较好，膜层性能也较稳定；PVD镀膜可以镀的膜层的种类更为广泛,可以镀出的各种膜层的颜色也更多更漂亮;PVD涂层不会产生有毒或污染物.

5.氮化钛(TiN)为什么 的功能？

答:①作为扩散障碍层(diffusion barrier layer),阻断铝与氧化硅之间的扩散.

②当作粘着层(glue layer),钨与氧化硅附着力差，在两者之间加入氮化钛可以增加彼此的附着力

③作为反射层(ARC layer),为了在微影技术过程中达到高分辨率，需要一层抗反射涂层来降低铝的高反射率.

6.采用PVD镀膜技术镀膜的特点是什么？

答: 采用PVD涂层技术涂层具有硬度高、耐磨性高（摩擦系数低）、耐腐蚀性好、化学稳定性好等特点，使用寿命长；同时，膜可以大大提高工件的外观装饰性能.

7. 请问PVD什么基材可以镀？

答: PVD膜层可直接镀在不锈钢、硬质合金、钛合金、陶瓷等表面锌合金、铜、铁等压铸件应先用化学镀铬，然后才适合镀铬PVD.

8.请问PVD能镀出的膜层有哪些种类？

答: PVD涂层技术是一种环保的表面处理方法，可真正获得微米涂层，无污染。可制备各种单一金属膜（如铝、钛、锆、铬等）和氮化物膜(TiN[钛金]、ZrN〔锆金〕、CrN、TiAlN)和碳化物膜(TiC、TiCN),以及氧化物膜(如TiO等).

9.请问PVD涂层的厚度是多少？

答: PVD涂层层厚度为微米，厚度较薄，一般为0.1μm~5μm,装饰涂层的厚度一般为0.1μm~2μm,因此，在不影响工件原有尺寸的情况下，可以提高工件表面的各种物理化学性能，保持工件尺寸基本不变，镀后无需再加工.

10. 请问PVD镀膜能够镀出的膜层的颜色有哪些?

答:我们目前能做出的膜有深金黄色、浅金黄色、咖啡色、青铜色、灰色、黑色、灰黑色、七色、蓝色、紫色、红色、绿色等。.通过控制涂层过程中的相关参数，可以控制涂层的颜色；涂层后，可以用相关仪器测量颜色值，量化颜色，确定涂层颜色是否符合要求.

11.为何铝靶材需要添加少量的铜?

答：当电流在铝金属层中移动时，铝原子会沿着颗粒界面移动。如果这种现象过于严重，就会导致金属线断开。添加少量铜可以防止铝线断开.

12.PVD镀膜的目的是镀膜

答：在固体表面涂一层特殊性能的薄膜，使固体表面具有耐磨、耐高温、耐腐蚀、耐氧化、抗辐射、导电、导磁、绝缘、装饰等优点。，从而提高产品质量，延长产品寿命，节约能源，获得显著的技术经济效益。.航空、航天、电子、信息、机械、石油、化工、环保、军事等各个领域得到了广泛的应用.

13.在PVD那些金属膜可以在工艺中获得

答:铝(AL),钛(Ti),氮化钛(TiN),钴( Co).一般wafer进入 PVD机器必须镀钛/氮化钛/铝/钛/氮化钛.五层金属.钴的作用是金属硅化物.