随着现代加工业向高精度、高速切割、干切割和低成本方向发展,人们对硬合金工具提出了更高的要求。涂层工具结合了高强度、高韧性、高硬度、高耐磨性的特点,可以提高工具的使用寿命和加工效率。
金刚石膜是一种类似金刚石的性质,硬度高,电阻率高,光学性能好,耐摩擦性和自润滑性能优异,成为理想的表面耐磨改性膜。金刚石膜(DLC)已成为高速钢和硬质合金刀具的理想涂层材料。
过去,由于 DLC 涂层刀具具有类似金刚石的性质,因此成为加工复合材料的新武器 。DLC 膜应用的主要缺点是生产制备过程中产生的内应力致膜基结合力差,限制膜厚度。
在薄膜工具的工作过程中,如果薄膜与基体的结合力过低,金刚石薄膜容易过早剥落,大大降低了工具的使用寿命。此外, DLC膜在高温下会发生相变和氧化,导致部分机械性能失效。因此,消除或减少 DLC 是 DLC 膜应用的基本保证。
掺杂、制备中间过渡层、酸蚀法和机械处理都可以改进 DLC 膜的膜基结合力;元素混合,制备不含氢的高 sp3 含量的 DLC 薄膜提高膜的热稳定性;液相电化学法制备 DLC 膜性能优异,在保证高膜基结合力的同时具有优异的热稳定性。
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