DLC膜的主要性能

1) 物理性能

a.强度和弹性模具。 由不同的沉积方法制备DLC 膜的强度与弹性模具大不相同。通过磁过滤负极 电孤法比金钢石更强甚至更高 DLC 膜由负极电孤法制备 DLC 膜的*大强度可达 50GPa 以上由非平衡磁控溅射法和离子源组成DLC 膜硬度达 21GPa。膜层中的成分对膜层的强度有害，Si、N 可以增加外加 DLC 膜的 强度。DLC 虽然薄膜弹性模具比金钢石小(11000GPa），但明显高于一般金属材料和瓷器 弹性模具。

   b.热应力和融合强度。塑料薄膜的热应力和融合强度是决定塑料薄膜稳定性和使用寿命、高热应力和低融合强度的两个关键因素DLC 膜在使用过程中容易引起裂纹、褶皱甚至脱落，因此 DLC 膜应具有适度的压内应力和较高的融合强度。绝大多数研究表明，基材立即沉积 DLC 膜/基的融合强度一般较低，根据选择 Ti/TiN/TiCN/TiC 提升中间梯度连接层的方法 DLC 膜与基材的融合强度沉积在模具钢上DLC 达到膜的融合强度 44N-74N，整体薄厚可达 5μm。

   2) 摩擦特性

   DLC 膜不仅耐磨性好，而且摩擦系数低，一般小于 0.2，表面 优良的耐磨改性材料膜。DLC 摩擦系数随着制备工艺和膜中化学成分的不同而变化，其摩擦系数至少可以达到 0.005。混合化学元素可能会降低摩擦系数，但添加 H 自然环境也能提高润化效果 指数有害。但总的来说，DLC 薄膜与传统的硬塑料薄膜(如 TiN、TiC、TiAlN 等) 相比之下，它在摩擦系数方面具有显着的优势。这种传统硬塑料薄膜的摩擦系数是 0.4 以上。国家，国家，DLC 膜可能会取代许多固体力学行业的传统硬膜。

   3) 热稳定性

因为 DLC 热稳定性差是亚稳态原料的限制 DLC 在 膜中使用的关键因素300℃ 以上 淬火时产生sp3 键向 sp2 因此，每个人都做了很多工作，试图提高其热稳定性。研究发现：Si 可以大大提高 DLC 膜的热稳定性，含 20 at%Si 的 DLC 膜在 740℃ 淬火时才发生 sp3 键向 sp2 键变化。金属材料(如 Ti、W、Cr）添加也可以增加 DLC 对膜的热稳定性进行了科学研究。

4) 耐蚀性

纯 DLC 膜具有良好的耐腐蚀性，各种酸、碱甚至硫酸都难以腐蚀。 与其它因素混合DLC 膜的耐腐蚀性在一定程度上降低，这也是由于混合物首先被腐蚀，从而影响膜的连续性。

   5) 表面情况

DLC 膜表面一般较亮，对板表面光滑度危害不大，但随着膜厚度的增加，表面光滑 洁度会降低。不同沉积方法获得的不同沉积方法 DLC 膜表面的光滑度也不同， 由离子源技术沉积DLC 膜表面质量明显优于电孤等离子喷涂。DLC 膜具有良好的抗粘性，特别是对稀有金属（如铜、铝、锌等）、塑料、橡胶、瓷器等。

DLC模具顶针

DLC镀层模贝