电弧离子镀制备硬质涂层及MCrAlY涂层

项目简介：真空电弧离子镀是将涂层材料作为靶极，在触发装置的帮助下，使靶表面产生电弧放电膜材料在电弧作用下产生无熔池蒸发，沉积在基底上。为实现多层复合膜和梯度功能膜的制备，可根据用户要求配置多个小多弧源、大面积矩形电弧源或旋转柱磁控电弧源。偏压电源采用*新的直流脉冲叠加开关偏压电源，可实现低温沉积(~200℃），涂层工艺的应用范围大大扩大，膜质和膜与基体的结合强度大大提高。

真空电弧离子镀具有以下优点：

(1)蒸发源不产生溶池，具有良好的绕镀性能:可任意设置在涂层室的适当位置，提高沉积层厚度均匀，简化基板旋转机构

(2)入射粒子能量高:膜密度高，强度好，耐磨性好。工件和膜界面有原子扩散，膜附着力高.

(3)离化率高:80%以上，涂层速率高，有利于提高膜基附着力和膜层性能

(4)一弧多用:电弧不仅是蒸发源和离化源，也是加热源和离子溅射清洗的离子源

本技术可制备多种硬涂层，如TiN、TiC、ZrN、CrN、TiCN、（Ti、Al）N、Al2O3，DLC多层复合膜等。研究的离子镀仿金装饰镀层经久耐用，广泛用于日用饰品、建筑五金等领域，离子镀TiN该系列耐磨涂料及其复合涂料具有高硬度、良好的组合强度和耐磨性，广泛应用于高速钢、硬合金工具、模具，可显著提高其使用寿命，提高加工工件的切削效率和表面质量。可制备MCrAlY等抗腐蚀、抗高温氧化涂层和其他功能涂层，应用于燃汽轮机叶片。